特許
J-GLOBAL ID：200903029503951685
搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039544
公開番号（公開出願番号）：特開平7-249671
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 基板を位置合わせした状態でカセット等から取出可能で、取出等に際してパーティクルの発生がなく、簡易でスループットの高い搬送装置を提供すること。【構成】 ハンド4上の所定位置に対する基板5端部のずれの有無を検出するセンサDSと、ハンド4をカセット内に挿入するとともにセンサDSの出力に基づいてハンド4上の所定位置に対する基板5端部のずれがなくなるまでハンド4の位置を調整する制御装置とを備える。カセット内の基板5とハンド4の相対的位置を調整した状態でこの基板5をハンド4で保持しカセット外に取り出す。したがって、何らかの原因でカセット6外へ基板5の飛び出しが生じている場合にも、基板5の位置ズレを補償した状態でカセット6外に搬出できる。なお、ハンド4と基板5が擦れないので基板5搬出に際してパーティクル発生の問題がほとんど生じない。
請求項（抜粋）：
基板を保持可能なハンドと、前記ハンドに設けられるとともに、当該ハンド上の所定位置に対する基板端部のずれの有無を検出するセンサと、所定の受け渡し場所に置かれた前記基板に向けて前記ハンドを進出させるとともに、前記センサの出力に基づいて、前記ハンド上の前記所定位置に対する基板端部のずれがなくなるまで前記ハンドの位置を調整する制御装置と、を備えることを特徴とする搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 543
, B65G 47/91
, B65G 49/07
, G01B 11/00
