特許
J-GLOBAL ID：200903029505563240
半導体ウエハ装置のテスト方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-196437
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026537
出願日： 1997年07月07日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】半導体メモリ製品の冗長セル置換後の最終ウエハテストについて、ウエハキャリアに存在する一部のウエハの測定でロット全体のテスト完了が可能な半導体ウエハ装置のテスト方法の提供。【解決手段】ホストコンピュータはプローバ装置から処理ロットの測定結果を受領し、テスト工程別に測定結果を保存する手段、処理ロット中最終ウエハテストで非測定ウエハとなったウエハについてリダンダンシウエハテストで取得した測定結果を最終ウエハテストで取得した測定結果に加え処理ロットの全ウエハの情報とする手段、リダンダンシウエハテストの測定結果では冗長セルに置き換えれば良品になると予測したチップに対して最終ウエハテストでも良と判断しそれ以外は不良と判断する手段を有し、処理ロットの全ウエハ情報となる合成された良否結果をプローバ装置に通知することにより、不良マーキング処理を行う。
請求項（抜粋）：
ホストコンピュータと、プローバ装置、及びICテスタの制御コンピュータ同士がネットワークにより接続され、半導体記憶装置のウエハテストを行うテスト方法において、前記ホストコンピュータは、前記プローバ装置から処理ロットの測定結果を受領し、テスト工程別に測定結果を保存する手段と、処理ロットのうち最終ウエハテストで非測定ウエハとなったウエハについては、リダンダンシウエハテストで取得した測定結果を、最終ウエハテストで取得した測定結果に加え、処理ロットの全ウエハの情報とする手段と、リダンダンシウエハテストの測定結果では、冗長セルに置き換えれば良品になると予測したチップに対しては最終ウエハテストでも「良」と判断し、それ以外は「不良」と判断する手段と、を有し、処理ロットの全ウエハの情報となる合成された良否結果をプローバ装置に通知することにより、不良マーキング処理を行う、ことを特徴とする半導体ウエハ装置のテスト方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/66 Z
, H01L 21/66 B
, G01R 11/22
