特許

J-GLOBAL ID：200903029505647347

横軸回転式基板乾燥装置

発明者： 村岡 祐介 ,  北澤 裕之
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280948
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112186
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 基板搬送用ロボット8で基板Wを搬送する際や、基板乾燥装置20のチャンバー21内に基板Wを下降挿入する際に、ロボットハンド8aの振動に起因して摩耗塵(パーティクル)が発生するのを低減する。【構成】 横軸回転式基板乾燥装置20の横軸型ロータ30に、基板保持具45を着脱自在に架設し、横軸型ロータ30の下側に基板保持具45を昇降する保持具昇降手段50を昇降自在に配置する。この保持具昇降手段50により、基板保持具45をチャンバー21の基板出入口23を越える上昇位置Hまで上昇させて、基板保持具45と基板搬送用ロボット8との間で複数の基板Wを受け渡し可能に構成する。これにより、ロボットハンド8aは小寸法のもので足り、基板Wを搬送する際に、その振動は大幅に低減する。

請求項（抜粋）：

その周壁を略円形に形成し、その周壁上部に基板出入口を、周壁下部に強制排気口を開口形成したチャンバーと、このチャンバーの上記基板出入口を開閉自在に閉止するチャンバー開閉蓋と、上記チャンバー内に回転可能に設けられた横軸型ロータと、上記チャンバー外に設けられ、この横軸型ロータを回転する回転駆動手段と、上記横軸型ロータに架設され、複数の基板を基板搬送用ロボットとの間で起立整列状態で受け渡し可能に保持する基板保持具と、この基板保持具で保持した複数の基板を上記横軸型ロータに固定する基板クランプ装置と、を具備して成る横軸回転式基板乾燥装置において、上記基板保持具を横軸型ロータに対して着脱自在に架設するとともに、この基板保持具を横軸型ロータに固定する保持具クランプ装置を当該横軸型ロータに設け、上記横軸型ロータの下側に上記基板保持具を昇降する保持具昇降手段を昇降自在に配置し、この保持具昇降手段により、上記基板保持具をチャンバーの基板出入口を越える上昇位置まで上昇させて、上記基板保持具と基板搬送用ロボットとの間で複数の基板を受け渡し可能に構成したことを特徴とする横軸回転式基板乾燥装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 361 ,  B05C 9/12 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-009325
  
• 特開昭61-236126
  
• 特開平1-255227