特許
J-GLOBAL ID：200903029510585260
ガス液化装置での純度維持方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-320270
公開番号（公開出願番号）：特開2002-130938
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】 ガス純度の計測機器を設置することなく、常時監視しながら運転できる純度保持方法及びその装置を提供する。【解決手段】 断熱構造に形成した液化ガス生成容器(1)に極低温冷凍機(3)のコールドヘッド(6)を装着し、液化ガス生成容器(1)に供給したガスを極低温冷凍機(3)で液化するようにあたり、液化ガス生成容器(1)内の液面を静電容量型液面計(8)で検出するように構成する。静電容量型液面計(8)からの出力信号を液化運転制御装置(12)に入力し、この液化運転制御装置(12)に予め設定されている液化量算定テーブルと静電容量型液面計(8)からの出力信号値とを比較する。液化ガス生成容器(1)内での液化量が異常増加した際にアラーム信号を発するとともに、液化装置の運転を停止するように制御した。
請求項（抜粋）：
断熱構造に形成した液化ガス生成容器(1)に極低温冷凍機(3)のコールドヘッド(6)を装着し、液化ガス生成容器(1)に供給したガスを極低温冷凍機(3)で液化するようにしたガス液化装置において、液化ガス生成容器(1)内の液面を静電容量型液面計(8)で検出するように構成し、静電容量型液面計(8)からの出力信号を液化運転制御装置(12)に入力し、この液化運転制御装置(12)に予め設定されている液化量算定テーブルと静電容量型液面計(8)からの出力信号値とを比較し、液化量が異常増加した際にアラーム信号を発するとともに、液化装置の運転を停止するように制御したことを特徴とするガス液化装置での純度維持方法。
IPC (2件)：
F25J 1/00
, F25J 3/04 103
F25J 1/00 A
, F25J 3/04 103
4D047AA08
, 4D047AB02
, 4D047BA08
, 4D047CA06
, 4D047DB05
, 4D047EA07
