処理液回収用チャンバー構造

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中前富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-251329
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077082
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】チャンバーの数を簡単に変更でき、簡単な構造で迅速に昇降できる処理液回収用チャンバー構造を提供する。【解決手段】薄板円板素材を回転させる支持体11の周囲に環状容器15〜17を複数段重ねた回収塔19を配置し、薄板円板素材の処理後の液を、種類別に回収する処理液回収用チャンバー構造10であって、環状容器15〜17の外周壁の上部には排気ガスを逃がす通気部が設けられていると共に、環状容器15〜17内の外側下部には使用済み液の排液口33、38、43が設けられ、しかも、環状容器15〜17の内側には、飛散する使用済み液が通気部から逃げるのを防止するバッフル35が設けられ、更に、最上段を除く環状容器16、17の外周壁には、上側に配置された環状容器15、16の排液口33、38、43からの液が下方に流れる通液孔39、44、44aが設けられている。

請求項（抜粋）：

薄板円板素材を下側から固定支持して回転させる支持体の周囲に僅少の隙間を設けて、チャンバーを形成する環状容器を複数段重ね、最上段の前記環状容器の上部に環状天井部材を被せて固定した使用済み液の回収塔を配置し、前記薄板円板素材の上面に薬品を吐液して各種処理を行った後の液を、該支持体に対して相対的に昇降する前記回収塔の前記各チャンバーに種類別に回収する処理液回収用チャンバー構造であって、前記環状容器の外周壁の上部には排気ガスを逃がす通気部が設けられていると共に、該環状容器内の外側下部には前記使用済み液の排液口が設けられ、しかも、該環状容器の内側には、飛散する前記使用済み液が前記通気部から逃げるのを防止するバッフルが設けられ、更に、前記最上段を除く複数段積み重ねられた前記環状容器の外周壁には、上側に配置された前記環状容器の前記排液口からの使用済み液が下方に流れる通液孔が設けられていることを特徴とする処理液回収用チャンバー構造。

IPC (2件)：

H01L 21/306 , H01L 21/304 648

FI (2件)：

H01L 21/306 R , H01L 21/304 648 J

Fターム (7件)：

5F043AA02 , 5F043EE07 , 5F043EE08 , 5F043EE32 , 5F043EE33 , 5F043EE37 , 5F043EE40

前のページに戻る