特許
J-GLOBAL ID:200903029520140860

高周波誘導結合プラズマ質量分析装置のサンプリングコーン

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-337042
公開番号(公開出願番号):特開平6-187943
出願日: 1992年12月17日
公開日(公表日): 1994年07月08日
要約:
【要約】【目的】 衝撃波がサンプリングコーン内面に接触して拡がらないようにして試料イオン密度の減少、感度低下を防止する。【構成】 高周波誘導結合プラズマイオン源を用いて試料をイオン化し、生じたイオンをインターフェースを介して質量分析系に導入するようにした質量分析装置において、前記インターフェースを構成するサンプリングコーンの試料導入孔を構成する先端部に、試料導入方向に向けて突起を設けたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
高周波誘導結合プラズマイオン源を用いて試料をイオン化し、生じたイオンをインターフェースを介して質量分析系に導入するようにした質量分析装置において、前記インターフェースを構成するサンプリングコーンの試料導入孔を構成する先端部に、試料導入方向に向けて突起を設けたことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析装置のサンプリングコーン。
IPC (3件):
H01J 49/10 ,  H01J 49/26 ,  G01N 27/62

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