特許
J-GLOBAL ID：200903029526081262
X線装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-259057
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088999
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】 軟X線光学素子を真空容器から取り出すことなく、そのままの配置で、表面に付着した物質を除去可能なX線装置を提供する。【解決手段】 真空容器112内に多層膜反射鏡102やマスク104を長時間配置しておくと、排気系などからわずかに逆流するオイルなどが原因で、表面にカーボンコンタミが付着する。カーボンコンタミはX線の反射率を著しく低下させる。そこで、ある一定期間が経過した後に多層膜反射鏡102やマスク104の表面に、KrFエキシマレーザー光106、107の照射を行う。KrFエキシマレーザー光106、107の照射時には、真空容器112内に100Pa程度の酸素を導入する。周囲に酸素が存在する状態でKrFエキシマレーザー光106、107が入射すると、カーボンコンタミを形成する炭素は励起されて酸素と結びつき、二酸化炭素となる。これにより、カーボンコンタミは除去される。
請求項（抜粋）：
X線発生部と、当該X線発生部より発生したX線から、利用する波長のX線を取り出して、利用目的に適した光束に変えるX線光学系部を備えたX線装置であって、当該X線装置に含まれるX線光学素子の表面にパルス状のエネルギービームを入射させる機構を設けたことを特徴とするX線装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
