特許
J-GLOBAL ID:200903029528716850

光偏向装置、及びその作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 一男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-330769
公開番号(公開出願番号):特開2001-147384
出願日: 1999年11月22日
公開日(公表日): 2001年05月29日
要約:
【要約】【課題】入射光を任意の方向に偏向でき、光ビームの偏向角の制御が容易且つ確実である光偏向装置及びその作製方法である。【解決手段】光偏向装置は、入射光ビームを偏向する半球体或は半円筒体8と、半球体或は半円筒体8を回転自在に支持する半球溝或は半円筒溝4aを有する支持体4と、半球体或は半円筒体8を回転させる為に半球体或は半円筒体8の球面或は円筒面及び球面或は円筒面と対向する支持体4の位置に設けられた駆動手段2、24a、24bとから成る。凸型半球状或は半円筒状構造体を有する型基板を支持体4に押し付けこの構造体の立体反転形状を支持体4に転写して、支持体4に半球溝或は半円筒溝4aを形成する。
請求項(抜粋):
入射する光ビームを偏向する半球体或は半円筒体と、半球体或は半円筒体を回転自在に支持する半球溝或は半円筒溝を有する支持体と、半球体或は半円筒体を回転させる為に半球体或は半円筒体の球面或は円筒面及び該球面或は円筒面と対向する支持体の位置に設けられた駆動手段とからなる光偏向装置の製造方法において、凸型半球状或は半円筒状構造体を有する型基板を支持体に押し付け該構造体の立体反転形状を支持体に転写することによって支持体に前記半球溝或は半円筒溝を形成することを特徴とする光偏向装置の製造方法。
Fターム (4件):
2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08

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