特許

J-GLOBAL ID：200903029539506327

照明装置

発明者： 白石 直正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 飯塚 雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-137711
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298154
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】 十分なスペックル除去を行い得る照明装置を提供すること。【解決手段】 照度均一化手段(38)と被照射部材(10)との間に反射鏡(54)を配置し、その反射面(VM)が被照射部材(10)に対する光学的フーリエ変換面に一致するようにする。そして、反射面(VM)の凹凸形状を駆動手段(64)によって微少変化させる。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から出力された照明光を照度均一化手段を介して平板状の被照射部材に照明する照明装置において、前記照度均一化手段と前記被照射部材との間に存在する前記被照射部材に対する光学的フーリエ変換面に位置する反射面を有し、該反射面の凹凸形状が変形可能に構成された反射鏡と;前記反射鏡の前記反射面の凹凸形状を変形させる駆動手段とを備えたことを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505

FI (5件)：

H01L 21/30 515 B ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 C ,  H01L 21/30 527