特許

J-GLOBAL ID：200903029553813348

半導体装置及びその製造方法

発明者： 小松 裕司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291180
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111051
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】従来のプロセス工程を左程増加させることなく、寄生容量を低減させ得る半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】半導体装置の製造方法は、(A)基体10上に、パターニングされた導電体層155を形成する工程と、(B)導電体層15の側壁に、自己整合的にサイドウオールを形成する工程と、(C)サイドウオールの頂部が露出した第1の絶縁層31を全面に形成する工程と、(D)サイドウオールを除去し、第1の絶縁層31と導電体層15との間に空隙32を形成する工程と、(E)空隙32を埋めないように、導電体層15上及び第1の絶縁層31上に第2の絶縁層33を形成する工程を備えている。

請求項（抜粋）：

(イ)基体上に形成され、パターニングされた導電体層、及び、(ロ)該導電体層上を含む基体に形成された絶縁層、を備えた半導体装置であって、絶縁層は、第1の絶縁層と、該第1の絶縁層上に形成された第2の絶縁層とから成り、第1の絶縁層の厚さは、導電体層の厚さと略等しいか、導電体層の厚さよりも厚く、第1の絶縁層と導電体層の側壁との間に空隙が形成されていることを特徴とする半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/76 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/786

FI (6件)：

H01L 29/78 301 L ,  H01L 21/76 N ,  H01L 21/90 N ,  H01L 27/08 321 E ,  H01L 29/78 617 J ,  H01L 29/78 621

Fターム (124件)：

5F032AA09 ,  5F032AA13 ,  5F032AA35 ,  5F032AC01 ,  5F032BB01 ,  5F032CA17 ,  5F032CA20 ,  5F033HH09 ,  5F033HH18 ,  5F033HH33 ,  5F033MM08 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ59 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR04 ,  5F033RR30 ,  5F033SS03 ,  5F033SS04 ,  5F033SS13 ,  5F033SS15 ,  5F033TT02 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033XX24 ,  5F040DA00 ,  5F040DA01 ,  5F040DA02 ,  5F040DA11 ,  5F040DB03 ,  5F040DC01 ,  5F040EB12 ,  5F040EC01 ,  5F040EC02 ,  5F040EC04 ,  5F040EC07 ,  5F040EC12 ,  5F040EC13 ,  5F040EF02 ,  5F040EH03 ,  5F040EH05 ,  5F040EH08 ,  5F040EJ04 ,  5F040EK01 ,  5F040EK05 ,  5F040FA03 ,  5F040FA04 ,  5F040FA05 ,  5F040FA12 ,  5F040FA16 ,  5F040FA17 ,  5F040FA18 ,  5F040FA19 ,  5F040FB02 ,  5F040FC00 ,  5F040FC22 ,  5F048AA08 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BA16 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB12 ,  5F048BB13 ,  5F048BC06 ,  5F048BF03 ,  5F048BF16 ,  5F048BG12 ,  5F048BG14 ,  5F048DA18 ,  5F048DA19 ,  5F048DA20 ,  5F048DA21 ,  5F048DA24 ,  5F048DA25 ,  5F048DA30 ,  5F110AA02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD24 ,  5F110EE01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE33 ,  5F110EE45 ,  5F110EE50 ,  5F110FF02 ,  5F110FF23 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL08 ,  5F110HL24 ,  5F110HM15 ,  5F110NN13 ,  5F110NN14 ,  5F110NN15 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN66 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ17 ,  5F110QQ19