特許
J-GLOBAL ID：200903029554353090
ダイアフラム型圧電素子、該ダイアフラム型圧電素子を用いた液体吐出機構及びインクジェットヘッド、並びに該インクジェットヘッドを用いたインクジェット式記録装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-367092
公開番号（公開出願番号）：特開2005-210887
出願日： 2004年12月20日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】 開口部1aを有する基板1上に、開口部1aを覆うように設けられた振動板層3と、該振動板層3上に設けられた下電極層4と、該下電極層4上に設けられた圧電体層5と、該圧電体層5上に設けられ、上記開口部1a内側上に位置する上電極本体部7aと該上電極本体部7aの周縁の一部から開口部1a外側に向かって延びて開口部1a縁上を跨ぐ配線部7bとからなるようにパターン化された上電極層7とを備えたダイアフラム型圧電素子の上記圧電体層5にクラックが生じるのを出来る限り抑制して、信頼性を向上させる。【解決手段】 圧電体層5と下電極層4との間及び圧電体層5と上電極層7との間の少なくとも一方における配線部7bが跨ぐ開口部1a縁上の部分に、低誘電率層6を該開口部1a縁上を跨ぐように形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
開口部を有する基板と、
上記基板上に上記開口部を覆うように設けられた振動板層と、
上記振動板層上に設けられた下電極層と、
上記下電極層上に設けられた圧電体層と、
上記圧電体層上に設けられ、上記開口部内側上に位置する上電極本体部と該上電極本体部の周縁の一部から開口部外側に向かって延びて開口部縁上を跨ぐ配線部とからなるようにパターン化された上電極層とを備えたダイアフラム型圧電素子であって、
上記下電極層と圧電体層との間及び圧電体層と上電極層との間の少なくとも一方における上記配線部が跨ぐ開口部縁上の部分に、該圧電体層よりも誘電率が低い低誘電率層が該開口部縁上を跨ぐように形成されていることを特徴とするダイアフラム型圧電素子。
IPC (7件)：
H02N2/00
, B05C5/00
, B41J2/045
, H01L41/08
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/22
H02N2/00 B
, B05C5/00 101
, B41J3/04 103D
, H01L41/08 C
, H01L41/08 J
, H01L41/08 D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
2C057AF65
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AG91
, 2C057AG94
, 2C057AG99
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
