特許

J-GLOBAL ID：200903029560525943

固定砥粒ワイヤソー

発明者： 田子 一弘 ,  塚田 修一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-298794
公開番号（公開出願番号）：特開平11-198020
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】【課題】ワイヤの線速を上げてワイヤ列を高速走行させてもクーラント液をワイヤ列に確実に付着させることのできる固定砥粒ワイヤソーを提供する。【解決手段】クーラント液槽52からオーバーフローするクーラント液50中にワイヤ列22を走行させるようにしてワイヤ列22にクーラント液50を確実に付着させるようにした。

請求項（抜粋）：

複数本のグルーブローラにワイヤを巻き掛けてワイヤ列を形成し、走行するワイヤ列にクーラント液を供給しながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数枚のウェーハに同時に切断する固定砥粒付ワイヤソーにおいて、前記インゴットを切断するワイヤ列の下側に配設され、その上面開放口が前記ワイヤ列に近接した状態でクーラント液を貯留するクーラント液槽と、前記クーラント液槽にクーラント液を連続供給して前記上面開放口からクーラント液をオーバーフローさせるクーラント液供給手段と、から成り、前記クーラント液槽からオーバーフローするクーラント液の液中に前記ワイヤ列を走行させることにより前記ワイヤ列にクーラント液を付着することを特徴とする固定砥粒ワイヤソー。

IPC (2件)：

B24B 27/06 ,  B24B 55/02

FI (2件)：

B24B 27/06 H ,  B24B 55/02 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ワイヤソー及びワイヤの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-289005   出願人：信越半導体株式会社
• ワイヤ式切断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-269505   出願人：東レエンジニアリング株式会社, エム・イー・エム・シー株式会社
• 特開平3-111104
  
• 特開平2-152764