特許
J-GLOBAL ID：200903029569818072
共焦点光学装置及びその位置合わせ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312811
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132736
出願日： 1997年10月29日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 複数の光源と検出器アレイとを備え、受光ピンホールアレイ及び検出器アレイを、繰り返し精度良く位置合わせ可能な共焦点光学装置及びその位置合わせ方法を提供する。【解決手段】 複数の光源4と、複数の検出素子を有する検出器アレイ11と、受光ピンホールアレイ9とを備え、ワーク8に反射した光の強度を測定してその表面形状を計測する共焦点光学装置の、前記複数の光源に対する検出器アレイ11又は受光ピンホールアレイ9の位置合わせ方法であって、前記複数の光源4から投光した光の集光位置を所定の物体8,14に対してZ軸方向に移動し、少なくとも2個の検出素子の信号レベルのピーク値を検出し、前記ピーク値の平均値を演算し、前記平均値の高いほうへ前記検出器アレイ11又は前記受光ピンホールアレイ9の位置を制御するようにしている。
請求項（抜粋）：
所定の物体(8,14)に対して投光される複数の光源(4)と、前記所定の物体(8,14)に対して、前記複数の光源(4)から投光された投光光の集光位置を、前記投光光の光軸方向に移動する集光位置移動手段(23)と、前記所定の物体(8,14)で反射した反射光の強度を検出する複数の検出素子を有する検出器アレイ(11)とを備えた共焦点光学装置において、前記検出器アレイ(11)を前記複数の光源(4)と光学的に共役な平面に対して少なくとも平行に移動、又は回転のいずれか一方を行なわせる検出器アレイ移動手段(21)と、前記投光光の集光位置を移動させた際に、前記検出器アレイ(11)上の少なくとも2個の前記検出素子から出力される信号レベルの各検出素子ごとのピーク値を検出するピーク値検出手段(26)と、前記ピーク値に基づいて、前記検出器アレイ移動手段(21)に移動指令を出力して検出器アレイ(11)の位置を制御する検出器アレイ位置制御手段(22)とを備えたことを特徴とする共焦点光学装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 11/24 C
, G01B 11/24 A
, G02B 7/00 E
