特許
J-GLOBAL ID：200903029578071222
サンプリングクロック発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122207
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311949
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】光学系の歪みなど、特性の不揃いに起因するリニアリティの悪化を排除し、高精度にサンプリングを行なうことが可能なサンプリングクロック発生装置を提供すること。【解決手段】試料11に対し集束光を照射する対物光学系と、前記集束光と前記試料11とを相対的に2次元方向へ移動走査し画像化のためのサンプリングクロックをスケール24により発生する2次元走査手段と、前記集束光の前記試料11による透過光、蛍光または反射光を受光し、その受光強度に応じた検出信号を出力する光検出手段15と、を備えた走査型共焦点顕微鏡の前記2次元走査手段において前記サンプリングクロックを発生するサンプリングクロック発生装置であり、前記2次元走査手段において、走査に用いられるスキャナ22のミラー位置検出光学系に前記対物光学系と等価な共焦点光学特性を持たせた。
請求項（抜粋）：
試料に対し集束光を照射する対物光学系と、前記集束光と前記試料とを相対的に2次元方向へ移動走査し画像化のためのサンプリングクロックをスケールにより発生する2次元走査手段と、前記集束光の前記試料による透過光、蛍光または反射光を受光し、その受光強度に応じた検出信号を出力する光検出手段と、を備えた走査型共焦点顕微鏡の前記2次元走査手段において前記サンプリングクロックを発生するサンプリングクロック発生装置であり、前記2次元走査手段において、走査に用いられるスキャナのミラー位置検出光学系に前記対物光学系と等価な共焦点光学特性を持たせたことを特徴とするサンプリングクロック発生装置。
IPC (3件)：
G02B 21/00
, G02B 26/10
, H04N 1/113
G02B 21/00
, G02B 26/10 A
, H04N 1/04 104 Z
