特許
J-GLOBAL ID：200903029588671635
熱処理炉及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-300298
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064546
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 作業性の向上及び製造時間の短縮が図れると共に、発熱抵抗体の配列ピッチの設置精度の向上が図れる熱処理炉及びその製造方法を提供すること。【構成】 筒状の断熱材10の内壁面に沿って螺旋状の発熱抵抗体9を備えた熱処理炉1であって、断熱材10の軸方向に複数に分割されて発熱抵抗体9を支持する支持体18を有する。各支持体18は発熱抵抗体9の内側に位置する基部19にその発熱抵抗体9のピッチ間を通って径方向外方へ延出する複数本の支持片20を形成してなり、これら支持片20の先端部が断熱材10中に埋設されるよう構成されている。
請求項（抜粋）：
筒状の断熱材の内壁面に沿って螺旋状の発熱抵抗体を備えた熱処理炉であって、前記断熱材の縦軸方向に複数に分割されて前記発熱抵抗体を支持する支持体を有し、前記各支持体は、前記発熱抵抗体の内側に位置する基部に、前記発熱抵抗体のピッチ間を通って前記熱処理炉の半径方向へ延出する複数本の支持片を形成し、前記複数本の支持片の先端部が前記断熱材中に埋設されていることを特徴とする熱処理炉。
IPC (3件)：
H01L 21/22 511
, C23C 16/44
, H01L 21/324
