特許
J-GLOBAL ID：200903029589610877
流体供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230976
公開番号（公開出願番号）：特開平8-071478
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：
【要約】【目的】 脈動のない連続流量特性、環境条件に存在しない定流量特性を持ち、超高精化、超微少流量化が図れる流体供給装置を提供する。【構成】 流体の吸入孔23及び吐出孔27と、ロータ25及びこのロータ25を収納する固定部材19の間に形成された流体輸送部と、ロータと連結した軸10と、この軸10と前記固定部材の間に相対的な回転運動と揺動運動を与えるための回転揺動パルスモータと、その制御、駆動電源である回転揺動制御部より構成することにより、シンプルな構成で供給流量の超高精化、超微少流量化が図れる。
請求項（抜粋）：
流体の吸入口及び吐出孔と、ロータおよびこのロータを収納する固定部材の間に形成された流体輸送部と、前記ロータと連結した軸と、この軸と前記固定部材の間に相対的な回転運動と揺動運動を与えるための回転揺動パルスモータと、その駆動電源である回転揺動制御部より構成されることを特徴とする流体供給装置。
IPC (2件)：
B05C 5/00 101
, B05C 11/10
