特許

J-GLOBAL ID：200903029592688283

リンス方法および装置

発明者： 佐近 正 ,  宗平修司
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  ニッテツ電子株式会社
代理人 (1件)： 本多 小平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-090708
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291222
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 付着微粒子の残留が少ないリンス方法およびその目的に好適なリンス装置を提供する。【構成】 ?@リンス液中にウエハを浸漬することなしに、ウエハ受台に50Hz以上100kHzの振動を与えて前記ウエハを微小に揺動しながらリンスする。?Aウエハ受台に50Hz以上100kHzの振動を与える振動装置を設ける。

請求項（抜粋）：

ウエハのリンス方法において、リンス液中にウエハを浸漬することなしに、ウエハ受け台に50Hz100kHz以下の振動を与えて前記ウエハを微小に揺動しながら前記ウエハの表面にリンス液を投射することを特徴とするウエハのリンス方法。