特許
J-GLOBAL ID：200903029595416977
ガスレーザ発振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272401
公開番号（公開出願番号）：特開2001-094186
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 外気温度の変化、放電管1内のレーザガスから発する輻射熱などを光学ベンチ15が受け熱変形することにより、全反射鏡6及び部分反射鏡7の角度が狂いレーザービームモードの変形及びレーザ出力を低下させるという問題があった。【解決手段】 接続管体の共振器内部鏡近傍にレーザ光の一部である散乱光を補足するための光センサを備え、前記光センサからの出力信号が常に最小になるように前記共振器内部鏡の角度を自動調整するための調整機構及び制御回路を備えたガスレーザ発振装置である。
請求項（抜粋）：
レーザガスを内部に通す1本以上の放電管と、前記放電管の両端に設けられた陽極と陰極と、前記放電管の両端に配置された一方が僅かの透過率を持つ全反射鏡で他方が出力鏡としての部分反射鏡である共振器内部鏡と、前記放電管の陰極側と前記共振器内部鏡を接続する接続管体を備え、前記接続管体の共振器内部鏡近傍にレーザ光の一部である散乱光を補足する光センサを設け、前記光センサからの出力信号が常に最小になるように前記共振器内部鏡の角度を自動調整するための調整機構と制御回路を設けたガスレーザ発振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
5F071AA00
, 5F071DD08
, 5F071EE02
, 5F071HH02
, 5F071HH09
, 5F071JJ05
, 5F071JJ09
, 5F072AA00
, 5F072HH02
, 5F072HH09
, 5F072JJ05
, 5F072JJ09
, 5F072KK02
, 5F072KK04
, 5F072KK06
, 5F072KK30
, 5F072MM16
, 5F072TT22
