特許
J-GLOBAL ID：200903029597935912
マイクロレンズアレイの成形用型及びその製造方法並びにマイクロレンズの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-299569
公開番号（公開出願番号）：特開平7-149528
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：
【要約】【目的】 ガラス製マイクロレンズアレイを繰り返し成形できる型を提供し、前記型を用いて、形状の異なるガラス製マイクロレンズアレイをプレス成形する方法を提供することを目的とする。【構成】 高強度な母材4上に保護層3を形成し、その表面に塗布したレジスト2をマスク1を通して露光、現像後、型表面をエッチングし保護層3に孔が多数個配列した型を製造する。前記型を用いて成形条件を変化させてガラス板をプレス成形することによりレンズ形状を制御してマイクロレンズアレイを製造する。
請求項（抜粋）：
耐熱性があり高強度な母材と、前記母材のプレス面に形成された貴金属系合金保護層とからなり、マイクロレンズに対応する孔を多数個配列したマイクロレンズアレイ成形用型。
IPC (2件)：
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