特許

J-GLOBAL ID：200903029606718750

硬化膜の製造法

発明者： 鈴木 正睦 ,  遠藤 昌之 ,  吉田 光一郎 ,  西村 功 ,  丹羽 一明
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-098443
公開番号（公開出願番号）：特開平11-282162
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 低誘電率で平坦度、耐熱性、耐溶剤性、透明性、絶縁性、プロセス許容性などに優れた硬化膜の製造法を提供すること。【解決手段】 (1)基板上にアルカリ可溶性の熱硬化性樹脂組成物を塗布、ベークし、(2)その上に、感放射線性樹脂組成物を塗布、ベークし、(3)所定のマスクを介して放射線を照射し、(4)アルカリ性現像液で現像し、(5)剥離液に浸漬し、そして(6)100〜300°Cの温度に加熱してアルカリ可溶性の熱硬化性樹脂をパターン化する、ことを特徴とする硬化膜の製造法を提供する。

請求項（抜粋）：

(1)基板上にアルカリ可溶性の熱硬化性樹脂組成物を塗布、ベークし、(2)その上に、感放射線性樹脂組成物を塗布、ベークし、(3)所定のマスクを介して放射線を照射し、(4)アルカリ性現像液で現像し、(5)剥離液に浸漬し、そして(6)100〜300°Cの温度に加熱してアルカリ可溶性の熱硬化性樹脂をパターン化する、ことを特徴とする硬化膜の製造法。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/30 502 R