特許

J-GLOBAL ID：200903029620878212

カンチレバーを利用したセンサ

発明者： ルドルフ ヘルマン
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-338602
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184500
出願日： 1994年12月30日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】 安定に動作し、高感度で測定することができ、しかも、機械的にも安定なカンチレバーを利用したセンサを提供すること。【構成】 熱膨張係数の異なる二種の金属からなるバイメタル構造のカンチレバー1の揺動端側にミラー6を設け、このミラー6に対して、干渉計に接続された光ファイバ7から光L1 を照射するように構成した。

請求項（抜粋）：

熱膨張係数の異なる二種の金属からなるバイメタル構造のカンチレバーの揺動端側にミラーを設け、このミラーに対して、干渉計に接続された光ファイバから光を照射するように構成したことを特徴とするカンチレバーを利用したセンサ。