特許

J-GLOBAL ID：200903029627621870

カーボン膜評価方法および磁気記録媒体の製造方法

発明者： 西田 康代 ,  星 一男 ,  若生 仁志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-212527
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028802
出願日： 2001年07月12日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】下地の影響を受けずにカーボン膜のラマンスペクトルを選択的に検出できるカーボン膜評価方法とそれを含む磁気記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】カーボン膜上に金属を接触させる工程と、カーボン膜の表面増強ラマンスペクトルを測定する工程と、表面増強ラマンスペクトルのほぼ1550〜1650cm-1にピークを有するバンドG(graphite)の強度IG と、ほぼ1350〜1450cm-1にピークを有するバンドD(disorder)の強度ID との比ID /IG に基づきカーボン膜の膜質を評価する工程とを有するカーボン膜評価方法と、ID /IG が0.1〜0.5の範囲にあることを確認する工程を含む磁気記録媒体の製造方法。

請求項（抜粋）：

カーボン膜上に金属を接触させる工程と、前記カーボン膜の表面増強ラマンスペクトルを測定する工程と、前記表面増強ラマンスペクトルのほぼ1550〜1650cm-1にピークを有するバンドG(graphite)の強度IG を求める工程と、前記表面増強ラマンスペクトルのほぼ1350〜1450cm-1にピークを有するバンドD(disorder)の強度ID を求める工程と、前記バンドGと前記バンドDとの強度比ID /IG に基づき前記カーボン膜の膜質を評価する工程とを有するカーボン膜評価方法。

IPC (3件)：

G01N 21/65 ,  C23C 14/14 ,  G11B 5/84

FI (3件)：

G01N 21/65 ,  C23C 14/14 D ,  G11B 5/84 C

Fターム (32件)：

2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043EA03 ,  2G043JA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043NA01 ,  4K029AA02 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA06 ,  4K029BA09 ,  4K029BA12 ,  4K029BA24 ,  4K029BA25 ,  4K029BA26 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC32 ,  4K029DC39 ,  5D112AA07 ,  5D112BC05 ,  5D112JJ06