特にマイクロリソグラフィ用の照明光学系

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：渡邊隆 , 志賀正武 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-530922
公開番号（公開出願番号）：特表2004-510344
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

第1光学コンポーネントと、第2光学コンポーネントと、像面と、射出瞳とを備える照明光学系を設ける。第1光学コンポーネントは、第2光学コンポーネントによって射出瞳内に結像される複数の2次光源に1次光源を変換する。第1光学コンポーネントは、第1光学素子を備えており、この第1光学素子が像面内に結像される複数の第1ラスタ素子を有して像面内のフィールド上で重ね合わせられる複数の像を生成する。第1光学コンポーネントは、集光ユニットと、複数の第2ラスタ素子を有する第2光学素子とをさらに備えている。集光ユニットから第1光学素子までの間の第1光軸の方向ベクトルと、第1光学素子から第2光学素子までの間の第2光軸の方向ベクトルとによって一つの平面が定められ、第2光学素子及び第2光学コンポーネントの間の第3光軸の前記平面への射影が前記第1光軸と交わるように、前記第1および第2光学素子を傾けて照明光学系を構成する。

請求項（抜粋）：

193nm以下の波長を用いる特にマイクロリソグラフィ用の照明光学系であって、 1次光源(8001,8101,8401)と、第1の光学コンポーネントと、第2の光学コンポーネント(8021,8121,8421)と、像面(8029,8129,8429)と、射出瞳(8033,8133)とを備え、前記第1の光学コンポーネントは、前記1次光源(8001,8101,8401)を、前記第2の光学コンポーネントによって前記射出瞳(8033,8133)内に結像される複数の2次光源に変換し、前記第1の光学コンポーネントは、第1の光学素子を備え、この第1の光学素子は、前記像面(8029,...)内に結像される複数の第1のラスタ素子(8009,8109,8409)を有して、前記像面(8029,...)内のフィールド上で少なくとも一部重ね合わせられる複数の像を生成し、前記第1の光学コンポーネントは、集光ユニット(8003,8103,8403)と、複数の第2のラスタ素子(8015,8115,8415)を有する第2の光学素子とを備え、さらに、前記集光ユニット(8003,...)および前記第1の光学素子の間の第1の光軸(8045.1)を備えて、前記第1の光学素子が反射型とされ、前記第1の光学素子および前記第2の光学素子の間の第2の光軸(8045.2)を備えて、前記第2の光学素子が反射型とされ、かつ前記第2の光学素子および前記第2の光学コンポーネント(8021,8121,8421)の間の第3の光軸(8045.3)を備え、前記第1の光軸(8045.1)の方向ベクトル(8046.1)と前記第2の光軸(8045.2)の方向ベクトル(8046.2)とが一つの平面を規定するよう設けられ、前記第1の光学素子および前記第2の光学素子は、前記第3の光軸(8045.3)の前記平面への射影が前記第1の光軸と交わるように傾けられていることを特徴とする照明光学系。

IPC (3件)：

H01L21/027 , G02B19/00 , G03F7/20

FI (6件)：

H01L21/30 527 , G02B19/00 , G03F7/20 502 , G03F7/20 521 , H01L21/30 517 , H01L21/30 531A

Fターム (20件)：

2H052BA03 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 2H097AA02 , 2H097AA03 , 2H097BA10 , 2H097CA13 , 2H097EA01 , 2H097GB01 , 2H097LA10 , 5F046BA05 , 5F046CB01 , 5F046CB02 , 5F046CB03 , 5F046CB12 , 5F046CB17 , 5F046CB23 , 5F046GA03 , 5F046GB01 , 5F046GD10

前のページに戻る