特許

J-GLOBAL ID：200903029637010585

鏡筒の支持装置及び露光装置

発明者： 李 世文
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129790
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323386
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 架台側からの振動の伝達を制限しつつ、鏡筒の内部の光学系の光学性能の低下を抑制可能な鏡筒の支持装置を提供する。【解決手段】 レンズ19a,20a、ミラー19b等の光学素子を備えた第1鏡筒21及び第2鏡筒22を、フランジ部32により、その光軸方向が重力方向に沿うように架台14上に支持する。フランジ部32とは前記光軸方向に離間した位置において、支持リング33により、各鏡筒21,22のその光軸とほぼ直交する方向への移動を規制する。支持リング33の各鏡筒21,22と対向する部分には弾性膜38を張設し、支持リング33の内部を所定の圧力の空気で満たすことにより、架台14側から各鏡筒21,22への振動の伝達を制限する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの光学素子を備えた鏡筒を架台上に支持するための鏡筒の支持装置において、前記鏡筒と前記架台との間に配置され、前記架台から前記鏡筒への振動の伝達を制限する制振手段を有する鏡筒の支持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/02

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 7/02 Z

Fターム (9件)：

2H044AA04 ,  2H044AE03 ,  2H044AJ06 ,  5F046AA05 ,  5F046AA23 ,  5F046BA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB26