試料分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-027804
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223168
出願日： 1997年02月12日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】試料内部の観察・分析。試料表面の欠損箇所の補修。【解決手段】処理用レーザの光源7と、観察用光源6と、光学系(ミラー1および光学レンズ2)と、レーザ照射により試料から放出された荷電粒子102の検出器15と、荷電ビーム機構(すなわち、荷電粒子源16および荷電ビーム偏向手段13)と、観察機構140(表示装置120、荷電ビーム101の照射により試料から放出される二次荷電粒子106の検出器11、および、観察用光104の試料からの反射光105を撮像するカメラ5)と、試料表面にガスを供給する機構10とを備える。

請求項（抜粋）：

試料から荷電粒子を放出させるための処理用光の光源と、該試料を観察するための観察用光の光源と、上記処理用光および観察用光を試料表面に導くための光学系と、上記処理用光の照射により試料から放出された荷電粒子を分析する分析機構と、観察機構とを備え、該観察機構は、画像を表示する表示装置と、上記観察用光の上記試料からの反射光により得られた画像を上記表示装置に表示する手段とを備え、上記光学系は、光軸の位置に第1の荷電粒子透過部を有するミラーと、光軸の位置に第2の荷電粒子透過部を有する光学レンズとを備え、上記試料から放出された荷電粒子の上記分析機構への径路は、上記第1の荷電粒子透過部および上記第2の荷電粒子透過部を通る試料分析装置において、上記試料に荷電ビームを照射するための荷電粒子源と、上記荷電ビームを偏向するための対物レンズとをさらに備え、上記観察機構は、上記荷電ビームの照射により上記試料から放出される二次荷電粒子を検出し、上記表示装置に出力する荷電粒子検出器を、さらに備えることを特徴とする試料分析装置。

IPC (10件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , G01N 21/88 , G01N 23/22 , G02B 21/00 , H01J 37/20 , H01L 21/203 , H01L 21/302 , H01L 21/66 , H01L 21/3205

FI (10件)：

H01J 37/22 502 L , H01J 37/22 502 A , G01N 21/88 E , G01N 23/22 , G02B 21/00 , H01J 37/20 D , H01L 21/203 M , H01L 21/66 L , H01L 21/302 Z , H01L 21/88 Z

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