特許

J-GLOBAL ID：200903029648692343

反射鏡及びそれを有する露光装置

発明者： 白石 雅之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-123300
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325986
出願日： 2003年04月28日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】有効反射面の面精度の確保を実現し得る反射鏡、及び、それを有する露光装置を提供する。【解決手段】反射鏡となる母材10からガラス基板11を切り出す際には、透過光を用いた検査等で予め母材10内部の脈理状態を測定する。本実施の形態の場合は、ガラス基板11の表面(反射面の少なくとも有効反射面)11aにおいて、母材10中の脈理13と表面11aとが略平行となる位置でガラス基板11を切り出す。こうして切り出したガラス基板11は、表面11aを工具で研磨しても脈理13の形状が出現しないので、良好な面精度の確保し得る。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ガラス基板と、 該ガラス基板の一面(反射面)上に成膜された、極端紫外光(EUV光)を反射する多層膜と、を備える反射鏡であって、 前記ガラス基板の反射面の少なくとも有効反射面において、該ガラス基板のガラス素材中の脈理と前記反射面とが略平行であることを特徴とする反射鏡。

IPC (3件)：

G02B5/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G02B5/08 A ,  G02B5/08 C ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A

Fターム (11件)：

2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DB02 ,  2H042DC09 ,  2H042DE00 ,  2H097CA06 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03