重ね合わせ検査装置および重ね合わせ検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-318334
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124458
出願日： 2000年10月18日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】第1マークによって膜の表面に浮き出た疑似マークが非対称な形状であっても第1パターンと第2パターンとの重ね合わせ状態を高精度に検査する。【解決手段】被検物体(11)の第1マークと第2マークとを含む領域の画像に基づいて、第2マークおよび疑似マークの位置を検出する検出手段(15)と、疑似マークと第1マークとの位置ずれ量を推定する推定手段(15,16)と、検出手段および推定手段の結果に基づいて第1マークと第2マークとの重ね合わせずれ量を算出する算出手段(16)とを備える。推定手段は、画像の所定方向に沿った濃度変化の中で疑似マークに対応する複数の変化部分を用い、各々の変化部分において濃度変化を特徴づける複数の点を選び出し、選び出された点間の濃度差に基づいて所定方向に沿った位置ずれ量を推定する。

請求項（抜粋）：

第1パターン上に膜が形成され且つ該膜上に第2パターンが形成された被検物体の前記第1パターンと前記第2パターンとの重ね合わせ状態を検査する重ね合わせ検査装置であって、前記第1パターンの基準位置を示す第1マークと前記第2パターンの基準位置を示す第2マークとを含む領域の画像を取り込む取込手段と、前記画像に現れたエッジ群のうち、前記第2マークに対応する複数のエッジの位置に基づいて前記第2マークの位置を検出し、前記膜を介して観察される前記第1マークに対応する複数のエッジの位置に基づいた疑似マークの位置を検出する検出手段と、前記画像の所定方向に沿った濃度変化の中で前記疑似マークに対応する複数の変化部分を用い、各々の変化部分において濃度変化を特徴づける複数の点を選び出し、選び出された点間の濃度差に基づいて前記疑似マークと前記第1マークとの前記所定方向に沿った位置ずれ量を推定する推定手段と、前記検出手段によって検出された前記第2マークおよび前記疑似マークの位置と、前記推定手段によって推定された前記位置ずれ量とに基づいて、前記第1マークと前記第2マークとの重ね合わせずれ量を算出する算出手段とを備えたことを特徴とする重ね合わせ検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G01B 11/00 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/00 H , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 M , H01L 21/30 502 V

Fターム (35件)：

2F065AA03 , 2F065AA14 , 2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065BB28 , 2F065CC19 , 2F065DD03 , 2F065FF42 , 2F065GG01 , 2F065HH02 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ17 , 2F065QQ21 , 2F065QQ29 , 2F065QQ32 , 2F065QQ38 , 4M106AA01 , 4M106AA20 , 4M106CA50 , 4M106DH12 , 4M106DJ19 , 4M106DJ20 , 5F046EA03 , 5F046EA04 , 5F046EA09 , 5F046EA12 , 5F046EA18 , 5F046EA24 , 5F046EB01 , 5F046EC05

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