特許
J-GLOBAL ID：200903029663103494
共焦点型レーザ走査顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-407810
公開番号（公開出願番号）：特開平6-018786
出願日： 1990年12月27日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 レーザ光が多数の光学素子を通過する際の反射・散乱光の大半を除去できる共焦点型レーザ走査顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】 光源(1)と、この光源(1)から発した光を集光する対物レンズ(12)と、上記光源(1)と上記対物レンズ(12)の間に形成された光路上に配置され対物レンズ(12)に入る光の入射角度を変化させることにより物体(13)上を走査する一対の光偏向部材(6)、(10)と、物体(13)からの光を検出する検出器(15)と、上記一対の光偏向部材(6)、(10)の間に形成された光路上に配置された一対のリレーレンズ(7)、(9)と、上記一対のリレーレンズ(7)、(9)の間に形成された光路上に配置されたスリット部材(8)とを有する。
請求項（抜粋）：
共焦点型レーザ走査顕微鏡において、光源と、前記光源から発した光を集光する対物レンズと、前記光源と前記対物レンズとの間に形成された光路上に配置され前記対物レンズに入る光の入射角度を変化させることにより物体を走査する一対の光偏向部材と、前記物体からの光を検出する検出器と、前記一対の光偏向部材の間に形成された光路上に配置された一対のリレーレンズと、前記一対のリレーレンズの間に形成された光路上に配置されたスリット部材を有する共焦点型レーザ走査顕微鏡。
IPC (3件)：
G02B 21/06
, G02B 21/00
, G02B 26/10 107
