特許

J-GLOBAL ID：200903029668681887

高周波四重極加速装置

発明者： 古川 行人 ,  井上 憲一 ,  日下 卓也 ,  鈴木 敏司 ,  井上 浩司 ,  今中 博文
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119465
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333698
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】 高周波四重極加速装置(RFQ)を材料分析等の用に供する際の支障となるエネルギー分散の減少,及び,多段型RFQにおけるビームダクト内でのビーム発散の減少を,簡易な手段により実現する。【構成】 四重極電極の出力端側に波打ち形状のない平行部17を設けることにより,この部分での粒子には加速も減速も与えられず進行方向に分散する。粒子は平行部17の下流側に設けられた加減速部18に入ることにより,加減速が加えられ粒子のエネルギー分散が抑制されたビームが得られる。また,多段型にRFQを構成するとき,前後段のRFQを接続するビームダクト内に四重極電極に電気的に接続された連結部電極を配設することにより,ビームダクト内を通過するビームの拡散を抑えることができる。

請求項（抜粋）：

相対向する2対の電極が十字方向に配置され,該電極の対向面側が波打ち形状に形成されてなる四重極電極を筒状の筐体内部の中心軸方向に配設し,該四重極電極に高周波電力を印加して四重極電極間を通過させる荷電粒子を任意の速度に加速する高周波四重極加速装置において,上記四重極電極に,上記波打ち形状のない平行部と,通過する荷電粒子のうち高速の粒子を減速させ低速の粒子を加速させる加減速部とを,上記加減速部が粒子の通過方向下流側となるように並設したことを特徴とする高周波四重極加速装置。