特許

J-GLOBAL ID：200903029671093910

ポリマ導波路及びその製造方法

発明者： 井本 克之 ,  成田 善廣
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034601
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232323
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 コア層と上部クラッド層の界面が不均一で光の散乱損失を無視することができない。矩形断面形コア層の表面に上部クラッド層を設けると、クラッド層上を平坦化することが困難になり、薄膜ヒータが設けられない。製造工程数が多く、低コスト化が難しい。基板を薄くすると、高い寸法精度が出せない。【解決手段】 基板101の表面にバッファ層102が形成され、その表面にコア層103と側面クラッド層104が平坦に形成される。両者は、DMAPNが分散されたPMMAを材料に用い、信号光がDMAPNの分散されたPMMA層内のみを伝搬するよう、コア層103の形成部を除いて側面クラッド層104の形成領域のみに光エネルギーを照射し、DMAPNを蒸発させる。コア層103と側面クラッド層104の上面には、上部クラッド層105が設けられる。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の表面に形成された屈折率n<SB>b </SB>のバッファ層と、PMMAにDMAPNが分散されて光信号の伝搬が可能な屈折率n<SB>w </SB>(但し、n<SB>w </SB>>n<SB>b </SB>)のコア層、及び光エネルギーの照射によってPMMA内のDMAPNが蒸発した屈折率n<SB>i </SB>(但し、n<SB>i </SB><n<SB>w </SB>)の側面クラッド層を有する状態で前記バッファ層の表面に平坦に形成されたPMMA層と、前記PMMA層の表面に形成される屈折率n<SB>c </SB>(但し、n<SB>c </SB><n<SB>w </SB>)の上部クラッド層を備えることを特徴とするポリマ導波路。