特許

J-GLOBAL ID：200903029671506026

ポリシラザン系塗布液及びそれを用いたセラミックス被膜の形成方法

発明者： 橋本 晃 ,  渋谷 達彦 ,  萩原 嘉男 ,  清水 泰雄
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社 ,  東燃株式会社
代理人 (1件)： 阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-281582
公開番号（公開出願番号）：特開平9-125006
出願日： 1995年10月30日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】 保存中及び基材上への塗布時において、有毒ガスの発生を抑制することができ、またグローバル段差を平坦化しうるポリシラザン系塗布液、及びそれを用いたセラミックス被膜の形成方法を提供する。【解決手段】 沸点差が少なくとも30°Cの低沸点と高沸点の2種の有機溶剤から成り、かつ低沸点有機溶剤の含有量が溶剤全量の少なくとも50重量%である混合有機溶剤に、一般式【化1】(R1、R2及びR3は水素原子、炭化水素基、炭化水素置換シリル基若しくはアミノ基又はカルビルオキシ基で、R〜R3の少なくとも1個は水素原子である)で表わされる繰り返し単位から成るポリシラザン系樹脂を溶解したポリシラザン系塗布液、及びこの塗布液を基材上に塗布、乾燥、焼成してセラミックス被膜を形成させる方法である。

請求項（抜粋）：

一般式【化1】(式中のR1、R2及びR3はそれぞれ水素原子、炭化水素基、炭化水素置換シリル基、炭化水素置換アミノ基又はカルビルオキシ基であり、R1、R2及びR3の少なくとも1個は水素原子である)で表わされる繰り返し単位から構成された主骨格を有するポリシラザン系樹脂を有機溶剤に溶解した溶液から成るポリシラザン系塗布液において、該有機溶剤として、沸点差が少なくとも30°Cの低沸点と高沸点の2種の有機溶剤から成り、かつ低沸点有機溶剤の含有量が溶剤全量の少なくとも50重量%である混合有機溶剤を用いることを特徴とするセラミックス被膜形成用ポリシラザン系塗布液。

IPC (2件)：

C09D183/16 PMM ,  C08G 77/62 NUM

FI (2件)：

C09D183/16 PMM ,  C08G 77/62 NUM