特許

J-GLOBAL ID：200903029684456761

エッチング液供給装置、エッチング装置及びエッチング方法

発明者： 崔 浩 根 ,  鄭 培 鉉 ,  金 龍 佑
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人共生国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-152588
公開番号（公開出願番号）：特開2008-066706
出願日： 2007年06月08日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：

【課題】ガラス基板を均一にエッチングすることができるエッチング液供給装置、エッチング装置及びエッチング方法を提供する。【解決手段】本発明によるエッチング液供給装置は、エッチング槽でガラス基板をエッチングするエッチング装置に、水、フッ酸、及び無機酸を含む複数の構成成分からなるエッチング液を供給し、エッチング槽で用いられたエッチング液のフィードバックを受けるエッチング液タンクと、エッチング液タンクのエッチング液をエッチング槽に供給するエッチング液移送部と、エッチング液タンクのエッチング液における構成成分の少なくとも一部である制御構成成分の濃度を測定する濃度測定手段と、制御構成成分を各制御構成成分別にエッチング液タンクに供給する構成成分供給部と、濃度測定手段の測定結果に基づいて制御構成成分が供給されるように構成成分供給部を制御する制御部と、を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

エッチング槽でガラス基板をエッチングするエッチング装置に、水、フッ酸、及び無機酸を含む複数の構成成分からなるエッチング液を供給するエッチング液供給装置において、 前記エッチング槽で用いられたエッチング液のフィードバックを受けるエッチング液タンクと、 前記エッチング液タンクのエッチング液を前記エッチング槽に供給するエッチング液移送部と、 前記エッチング液タンクのエッチング液における前記構成成分の少なくとも一部である制御構成成分の濃度を測定する濃度測定手段と、 前記制御構成成分を各制御構成成分別に前記エッチング液タンクに供給する構成成分供給部と、 前記濃度測定手段の測定結果に基づいて前記制御構成成分が供給されるように前記構成成分供給部を制御する制御部と、を備えることを特徴とするエッチング液供給装置。

IPC (4件)：

H01L 21/306 ,  C03C 15/00 ,  G02F 1/133 ,  G02F 1/13

FI (5件)：

H01L21/306 J ,  C03C15/00 C ,  C03C15/00 B ,  G02F1/1333 500 ,  G02F1/13 101

Fターム (24件)：

2H088FA19 ,  2H088FA20 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H090JA09 ,  2H090JB02 ,  2H090JC01 ,  2H090JD14 ,  4G059AA08 ,  4G059AB17 ,  4G059AB19 ,  4G059AC03 ,  4G059BB04 ,  4G059BB16 ,  5F043AA40 ,  5F043BB22 ,  5F043EE07 ,  5F043EE23 ,  5F043EE28 ,  5F043EE29 ,  5F043EE30 ,  5F043FF07 ,  5F043FF10 ,  5F043GG10