特許
J-GLOBAL ID：200903029684515067
磁気媒体製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-138143
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335837
出願日： 1998年05月20日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：
【要約】【課題】 ベースに蒸発粒子を斜めに、しかも表面性状良く、その上、高速で蒸着できる磁気媒体製造装置を得ること。【解決手段】 本発明の第1の実施形態の磁気媒体製造装置1Aは、フィルタードカソードアーク蒸着法を用いたものであって、真空チャンバー2内に配設されたベースBを供給するためのベース供給装置10と真空チャンバー2内へ先端部が、キャンローラ13の外周面に巻き付けられているベースBに対して斜めに配設された(フィルタードバキューム)アーク蒸着装置20とから構成されていて、アーク蒸着装置20から放射したイオンビームで高速走行中のベースBの表面を、その幅方向に走査して、磁性材Mを被着し、磁気媒体を製造することができる。
請求項（抜粋）：
真空チャンバーと、該真空チャンバー内に配設され、ロール状に巻回されたフィルム状ベースをキャンローラの一部外周面に巻き付けるように供給し、これをロール状に巻き取るように構成されているベース供給装置と、前記キャンローラの外周面に巻き付けられたベースの表面に対して蒸発分子流が斜めに被着するように配設されたフィルタードバキュームアーク蒸着装置とから構成されていることを特徴とする磁気媒体製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/56 A
, G11B 5/85 A
