除振制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田良徳 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-003982
公開番号（公開出願番号）：特開平6-207639
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：

【要約】【目的】距離が離れた複数点間の微振動による相対変位をキャンセルする。【構成】距離を有して配設される複数の基礎部6と、支持台4を介して基礎部6上に支持される除振台3と、除振台3の3次元変位を検出する変位センサ8a、8bと、前記支持台4と除振台3間に装着され除振台を3次元的に移動させるアクチュエータ9a、9bと、前記除振台3上に配設される除振対象となる装置1、2とを備え、前記変位センサにより各除振台の3次元変位を検出し、この信号により前記アクチュエータを駆動させることにより、除振対象となる装置における3次元変位を一致するように制御する。

請求項（抜粋）：

距離を有して配設される複数の基礎部と、支持台を介して前記基礎部上に支持される除振台と、該除振台の3次元変位を検出する変位センサと、前記支持台と除振台間に装着され除振台を3次元的に移動させるアクチュエータと、前記除振台上に配設される除振対象となる装置とを備え、前記変位センサにより各除振台の3次元変位を検出し、この信号により前記アクチュエータを駆動させることにより、除振対象となる装置における3次元変位を一致するように制御することを特徴とする除振制御装置。

IPC (4件)：

F16F 15/02 , E04B 1/98 , E04H 9/02 331 , G12B 9/08

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平4-063112
特開昭63-198326
特開平2-210813

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