特許
J-GLOBAL ID：200903029686117352
レーザ用反射鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-044536
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235806
出願日： 1993年02月09日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 平均パワーの高いレーザ光に対する耐久性の高いレーザ用反射鏡を実現する。【構成】 基板の表面に、50nmないし1mmの膜厚を有するダイヤモンド類の材料の薄膜を蒸着し、そのうえに、誘電体材料の多層膜を蒸着する。ダイヤモンド類はあらゆる物質中で熱伝導率が最も大きいために多層膜に吸収された熱エネルギーを効果的に発散させ、多層膜の温度上昇を防ぐ。従って、高出力で繰返し頻度の高いレーザ光を照射しても、多層膜が熱変形や膜剥れを起こすおそれがない。
請求項（抜粋）：
基板と、誘電体材料の多層膜からなるレーザ用反射鏡であって、前記基板と前記多層膜の間にダイヤモンド類の材料からなる薄膜が設けられていることを特徴とするレーザ用反射鏡。
IPC (2件)：
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