磁気ディスク

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：舘野千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150007
公開番号（公開出願番号）：特開平5-325176
出願日： 1992年05月19日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】【目的】高硬度で耐摩耗性、密着性、潤滑性に優れ、高密度磁気記録技術に必要な500オングストローム以下の膜厚の保護膜を兼ね備えた磁気ディスクを提供する。【構成】硬質非晶質炭素膜を表面に設けた磁気ディスクにおいて、硬質非晶質炭素膜表面にシリコンを含有する硬質非晶質炭素層を設ける。

請求項（抜粋）：