電子源の製造方法及び画像形成装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：國分孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047084
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251660
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】大面積の基板上に多数の電子放出素子を形成するに際して、各電子放出素子の導電性膜に通電フォーミングを行なうときに、ほぼ全ての電子放出素子にわたって均一な電子放出部を形成し、各電子放出素子が均一な電子放出特性を有する電子源を実現する。【解決手段】通電フォーミングを行なうに際して、先ずHe,N2 等の不活性ガスを導入して、真空チャンバー内の圧力を一定に保持する。続いて、電子源基板を加熱し、電子源基板上の素子電極に電圧を印加する。そして、真空チャンバー内の圧力を一定に維持しながら、H2 等の還元又は凝集性ガスを導入する。

請求項（抜粋）：

基板上に、一対の電極間に導電性膜を有する複数の電子放出素子が形成された電子源を製造するに際して、前記導電性膜に電子放出部を形成するフォーミング処理を行なう電子源の製造方法において、真空装置内に所定圧力となるように不活性ガスを導入する工程と、前記基板を前記真空装置中で加熱する工程と、前記電極間に電圧を印加して前記フォーミング処理を行う工程と、前記真空装置内の圧力を一定に保持した状態で前記不活性ガスに還元性又は凝集性ガスを混合する工程とを有することを特徴とする電子源の製造方法。

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