特許

J-GLOBAL ID：200903029691903757

パーマロイ膜形成用ターゲットおよびその製造方法

発明者： 村田 英夫 ,  目黒 卓
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-171281
公開番号（公開出願番号）：特開平7-026369
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：

【要約】【目的】 極めて正確な組成範囲に納めることができるとともに、低酸素含有量のパーマロイ膜形成用ターゲットの製造方法およびターゲットを提供する。【構成】 本発明の製造方法は、重量%でニッケルが78から85%、残部実質的に鉄である組成範囲を満たす目標のパーマロイ組成に配合した金属または合金の粉末を、還元性雰囲気で加熱処理することにより酸素を低減し、次いで焼結することを特徴とする方法であって、好ましくは加熱処理は可鍛性容器に充填してから行ない、密閉封入後加圧焼結する方法である。また、本発明のターゲットは、重量%でニッケルが78から85%、残部実質的に鉄からなり、不純物である酸素濃度が25ppm以下の焼結体からなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

重量%でニッケルが78から85%、残部実質的に鉄からなり、不純物である酸素濃度が25ppm以下の焼結体からなることを特徴とするパーマロイ膜形成用ターゲット。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C22C 1/04 ,  G11B 5/31 ,  G11B 5/39

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-100147
  
• 特開昭60-029406