特許
J-GLOBAL ID：200903029693013155
短波長結像を目的としたポリマ-および感光性耐食膜組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 初志 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009837
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258809
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、短波長結像を目的としたポリマーおよび感光性耐食膜組成物を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明は、新規ポリマーと、そのポリマーを樹脂結合成分として含む感光性耐食膜組成物とを提供することにより、極めて短い波長、特に193 nmに対する暴露時に解像度の高い起伏影像を提供する。本発明の感光性耐食膜組成物は、好ましくは、耐食膜コーティング層の露光領域と非露光領域との間の溶解性の差を提供するポリマー側基の感応性酸誘発開裂を利用した化学増幅陽画型耐食膜である。
請求項（抜粋）：
光活性成分と、シアノ部分を含む感光性酸不安定単位を有するポリマーを含む樹脂結合剤とを含む感光性耐食膜組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
