特許

J-GLOBAL ID：200903029693476066

熱拡散用複合プレート

発明者： 赤地 久輝
出願人/特許権者： ティーエス ヒートロニクス 株式会社
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362944
公開番号（公開出願番号）：特開2001-177024
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【目的】 発熱素子から供給される大きな熱量を、放熱手段の受熱面に均一かつ効率的に拡散伝熱させることのできる熱拡散用伝熱プレートを提供する。【解決手段】 熱拡散用複合プレートは、中心層1と、中心層1の両面に堆積された10μm を超えない厚さの金属薄膜2から構成される。中心層1は、面方向の熱伝導率が極めて高く、垂直方向の熱伝導率は比較的低い高純度グラファイトからなる。金属薄膜2は、中心層1の両面に、プラズマイオン化学蒸着法、プラズマイオン物理蒸着法等の中心層に対し接合強度の強い所定の方法で堆積形成される。高純度グラファイトの熱伝導性を有効に生かし、さらに機械強度を付与することができる。

請求項（抜粋）：

受熱部への入熱を周囲に伝導拡散させる熱拡散用複合プレートであって;高純度グラファイトシートからなる中心層と、該中心層の両面又は片面に堆積された10μm を超えない厚さの金属薄膜と、を備えることを特徴とする熱拡散用複合プレート。

IPC (6件)：

H01L 23/36 ,  F28D 9/00 ,  F28D 15/02 ,  F28D 15/02 101 ,  H01L 23/373 ,  H05K 7/20

FI (6件)：

F28D 9/00 ,  F28D 15/02 L ,  F28D 15/02 101 H ,  H05K 7/20 B ,  H01L 23/36 D ,  H01L 23/36 M

Fターム (14件)：

3L103AA05 ,  3L103BB20 ,  3L103DD15 ,  3L103DD53 ,  3L103DD95 ,  5E322AA01 ,  5E322AA11 ,  5E322AB06 ,  5E322FA05 ,  5F036AA01 ,  5F036BB21 ,  5F036BB60 ,  5F036BD01 ,  5F036BD11