特許

J-GLOBAL ID：200903029698344508

半導体製造装置の保守管理システム及びその制御方法

発明者： 鈴木 貞之
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 阪本 清孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-203078
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051051
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】 消耗品の交換時期を管理し、交換時期を過ぎた消耗品をオペレータに告知して交換を促し、装置の稼働率低下や製品の不良発生を防止することができる半導体製造装置の保守管理システム及びその制御方法に関する。【構成】 記憶部1bに個々の消耗品の交換周期(a)と、前回交換時期(b)と、補償期間切れとなるまでの残り時間(c)を記憶した交換時期管理ファイル12を設け、制御部4が、交換時期管理ファイル12から読み取った交換周期(a)と、前回交換時期(b)と、タイマー5の示す現在日時(d)とから、残り時間(c)=a-(d-b)を算出し、c≦0となるものを補償期間切れとして検出してオペレータに告知する半導体製造装置の保守管理システム及びその制御方法としている。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置に用いられる消耗品の交換周期を示す交換周期情報、前記消耗品を前回交換した時期を示す前回交換時期情報を格納する記憶部と、日時を計数するタイマーを内蔵し、特定周期で、前記タイマーが示す日時情報から前記消耗品の前記前回交換時期情報を減算して経過した期間を示す経過期間情報を求め、前記消耗品の交換周期情報と前記経過期間情報とを比較して前記経過時期が前記交換周期を超えていれば該消耗品が交換時期を過ぎた旨の情報を出力する制御部とを有することを特徴とする半導体製造装置の保守管理システム。