特許

J-GLOBAL ID：200903029702046231

平坦度測定装置

発明者： 鈴木 康史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-386834
公開番号（公開出願番号）：特開2002-188912
出願日： 2000年12月20日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、測定対象物の平坦度を測定し、その結果を出力する平坦度測定装置に関し、サイト内の形状を容易,確実に把握することを目的とする。【解決手段】 測定対象物における所定の測定点の高さを測定する高さ測定手段と、前記高さ測定手段で測定された測定点の高さ値を対応する前記測定対象物の複数のサイトに割り当てる割り当て手段と、前記割り当て手段で割り当てられた測定点の高さ値に基づいて各サイトにおける基準平面からの変位量を演算し各サイトの変位分布図を作成する変位分布図作成手段と、前記変位分布図を出力する出力手段とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

測定対象物における所定の測定点の高さを測定する高さ測定手段と、前記高さ測定手段で測定された測定点の高さ値を対応する前記測定対象物の複数のサイトに割り当てる割り当て手段と、前記割り当て手段で割り当てられた測定点の高さ値に基づいて各サイトにおける基準平面からの変位量を演算し各サイトの変位分布図を作成する変位分布図作成手段と、前記変位分布図を出力する出力手段と、を有することを特徴とする平坦度測定装置。

IPC (4件)：

G01B 21/30 101 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 101 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 21/30 101 F ,  G01B 11/30 101 A ,  H01L 21/66 P ,  G01B 11/24 D

Fターム (31件)：

2F065AA24 ,  2F065AA47 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065GG05 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065SS01 ,  2F065SS06 ,  2F065SS13 ,  2F069AA42 ,  2F069AA54 ,  2F069BB15 ,  2F069CC07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH09 ,  2F069HH30 ,  2F069QQ05 ,  2F069QQ10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA24 ,  4M106DH01 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39