特許
J-GLOBAL ID：200903029704689512
フッ化カルシウム単結晶の熱処理装置及び熱処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-026743
公開番号（公開出願番号）：特開2000-226297
出願日： 1999年02月03日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】フッ素雰囲気中で熱処理を行う場合には、フッ化カルシウム単結晶はフッ素雰囲気にさらされることによって、結晶表面がエッチングされるという問題点があった。【解決手段】フッ化カルシウム単結晶及びフッ素化剤を収納する第1容器と、第1容器を収納する気密化可能な第2容器と、第2容器の外側に配置されたヒーターとを有するフッ化カルシウム単結晶の熱処理装置において、第1容器中に、フッ化カルシウム単結晶とフッ素化剤とを隔離する部材を設けたことを特徴とするフッ化カルシウム単結晶の熱処理装置を提供する。
請求項（抜粋）：
フッ化カルシウム単結晶及びフッ素化剤を収納する第1容器と、第1容器を収納する気密化可能な第2容器と、第2容器の外側に配置されたヒーターとを有するフッ化カルシウム単結晶の熱処理装置において、第1容器中のフッ化カルシウム単結晶とフッ素化剤との間に、フッ化カルシウム単結晶表面のフッ素雰囲気を制御する部材を設けたことを特徴とするフッ化カルシウム単結晶の熱処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
4G077AA01
, 4G077BE02
, 4G077FE06
, 4G077FK05
, 4G077FK18
