移相回折干渉計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-518932
公開番号（公開出願番号）：特表平10-510054
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】光源(12)からの直線偏光されたビーム(10)が濃度フィルタ(14)を通るような干渉計装置。その後でビーム(10)は半波遅延板(16)を通る。その半波遅延板は2つの直交して偏光されたビームを生ずる。半波遅延板(16)の角度の向きを用いて、垂直偏光成分と水平偏光成分との間の相対的な輝度を調整する。その後で、偏光されたビームを偏光ビーム分割器(22)により分割する。その後で、透過させられたビーム(20)が固定されてる再帰反射器(24)により偏光ビーム分割器(22)へ反射され、その偏光ビーム分割器を通って曲げ鏡(26)に達する。反射されたビーム(18)は圧電トランスレータ(30)に装着されている再帰反射器(28)によりビーム分割器(22)へ反射され、その分割器を通って同じ鏡に到達するから、それは他のビームと平行であるが、それからは横に変位させられている。それは発散して、アパーチャ(42)により回折された基準ビーム(48)に一致する。測定ビーム(46)と基準ビーム(48)とは干渉して、光学素子(50)からの波面と完全な球面波面との間の光路差の輪郭マップを表すしまパターンを生ずる。

請求項（抜粋）：

直線偏光およびコリメートされたコヒーレントな光ビームを2本の平行な、空間的に分離された、直交して偏光されたコヒーレントな光ビームに分離するための手段と、前記2本の平行な、空間的に分離された、直交して偏光されたコヒーレントな光ビームの間で位相を推移させる手段と、前記2本の平行な、空間的に分離された、直交して偏光されたコヒーレントな光ビームを2本の平行な、空間的に分離された、同一に偏光されたコヒーレントな光ビームに向けるための偏光器と、前記2本の平行な、空間的に分離された、同一に偏光されたコヒーレントな光ビームを焦点に集束するための手段と、干渉計板と、集束手段と、を備え、前記干渉計板は、ガラス基板と、このガラス基板に付着された高反射金属膜と、前記ガラス基板と前記高反射金属膜とを貫通する少なくとも1つの円形アパーチャであって、前記焦点に置かれ、ほぼ前記コヒーレントな光ビームの波長と同じ寸法の直径を持つ前記少なくとも1つの円形アパーチャと、を有し、前記干渉計板は、前記焦点において前記2本の平行な、空間的に分離された、同一に偏光されたコヒーレントな光ビームを回折させて、測定ビームと基準ビームを生じ、前記集束手段は前記測定ビームを前記アパーチャと前記高反射金属膜との上に集束させ、前記測定ビームと前記基準ビームとが組合わさって干渉パターンを形成することを特徴とする移相回折干渉計。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-228505
特開平2-228505
計測内視鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-275554 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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