特許

J-GLOBAL ID：200903029717541115

基板処理システム

発明者： 安彦 一 ,  上田 修 ,  岩倉 裕幸
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-097646
公開番号（公開出願番号）：特開2009-252911
出願日： 2008年04月04日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：

【課題】接続装置の表示順と接続装置の表示有無をユーザ毎に設定・変更可能にする仕組みを提供する。 【解決手段】基板を処理する基板処理装置10と、該基板処理装置10に接続される群管理装置20とで構成される基板処理システム1であって、前記群管理システム20は、システムパラメータファイル内の接続装置情報及びユーザパラメータファイル内のユーザ表示情報とをメモリに展開する初期化部4と、前記ユーザ表示情報と前記接続装置情報を照合してユーザ毎に予め設定されている表示対象の基板処理装置10を決定する判定部5と、前記判定部5により決定された基板処理装置10に関する情報を表示する表示部3と、を有する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続される群管理装置とで構成される基板処理システムであって、 前記群管理システムは、 システムパラメータファイル内の接続装置情報及びユーザパラメータファイル内のユーザ表示情報とをメモリに展開する初期化部と、 前記ユーザ表示情報と前記接続装置情報を照合してユーザ毎に予め設定されている表示対象の基板処理装置を決定する判定部と、 前記判定部により決定された基板処理装置に関する所定の情報を表示する表示部と、 を有する基板処理システム。

IPC (1件)：

H01L 21/02

FI (1件)：

H01L21/02 Z