特許

J-GLOBAL ID：200903029719178050

負空気圧サーボシステム

発明者： 荒井 太四郎 ,  木村 誠
出願人/特許権者： 日本空圧システム株式会社 ,  木村 誠
代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-332799
公開番号（公開出願番号）：特開平9-144705
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルーム内で使用できる防塵タイプであって、小形化したエアシリンダを使用する負空気圧サーボシステムを提供すること。【解決手段】 負空気圧サーボシステムは、中空シリンダ11と、シリンダ内を摺動しシリンダを2つの空気室13,14に分離するピストン16とを有するピストンシリンダを動作させるためのシステムであって、空気室13,14の一方が大気圧より低い負圧状態にされ、他の空気室が大気圧状態とされることにより、ピストン16を中空シリンダ11の負圧側に移動させる。

請求項（抜粋）：

中空シリンダと、シリンダ内を摺動しシリンダを2つの空気室に分割するピストンとを有するピストンシリンダを動作させるためのシステムにおいて、前記空気室の一方が、大気圧より低い負圧状態にされ、他の空気室が大気圧状態とされることにより、前記ピストンを前記中空シリンダの負圧側に移動させることを特徴とする負空気圧サーボシステム。

IPC (2件)：

F15B 11/028 ,  F15B 15/14 305

FI (2件)：

F15B 11/02 H ,  F15B 15/14 305