特許
J-GLOBAL ID：200903029726729917
固体撮像装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-312342
公開番号（公開出願番号）：特開平7-168014
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 薄型化が図られると共に高感度化が図られた固体撮像装置及びその製造方法を提供する。【構成】 色フィルタ部37がイエロ、グリーン、シアン、マゼンタの各色に染め分けられた単層の合成樹脂層及び保護層43、マイクロレンズ44を有する補色系の色フィルタ45,46,47,48によってなるものであり、また補色系のグリーンの色フィルタ46のグリーン染色層40が銅フタロシアニンのグリーン染料によって合成樹脂層を染色するようにして形成するものである。このため、イエロ、グリーン、シアン、マゼンタの各染色層39,40,41,42は夫々単層で厚さには大きな差がなく、平坦な面が形成されるよう積層する保護層43は薄く平坦性も良好なものとなる。その結果、色フィルタ部37は厚さも薄く、マイクロレンズ44は短焦点距離の均質な形状となり、装置の薄型化と共に高感度化することができる。
請求項（抜粋）：
複数の画素部が形成された基板上に成層された合成樹脂層を染色して形成したイエロ、グリーン、シアン、マゼンタの補色系の色フィルタを有すると共に、これらの色フィルタの上に保護層を介してマイクロレンズを設けてなる色フィルタ部を備えた固体撮像装置において、前記色フィルタが前記イエロ、グリーン、シアン、マゼンタの各色に染め分けられた単層の前記合成樹脂層を備えてなるものであることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (5件)：
G02B 5/20 101
, G02B 3/00
, H01L 27/14
, H04N 5/335
, H04N 9/07
