特許

J-GLOBAL ID：200903029732176946

静電アクチュエータ

発明者： 今野 信次 ,  福山 尚志 ,  尾崎 慶英
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社 ,  ダイアホイルヘキスト株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-072007
公開番号（公開出願番号）：特開平8-275555
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【構成】 絶縁性支持体上(2)に、互いに絶縁されて所定の方向に且つ所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極(3)を有する第1の部材(1)と、絶縁性薄葉体に正負の電荷が付与される第2の部材(7)とが接するように配置されており、駆動電極への印加電圧の切り替えにより生じる第1の部材(1)と第2の部材(7)との静電気のクーロン力によって第1の部材と第2の部材の相対位置を変化させるための駆動手段を具備する静電アクチュエータにおいて、第2の部材と接する第1の部材の摺動面及び/又は第1の部材と接する第2の部材の摺動面が酸化アルミニウムを含有する絶縁性薄葉体で形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。【効果】 第1の部材と第2の部材との接する面の耐摩耗性を安価な方法で改良することができ、優れた耐久性を有する静電アクチュエータを提供することができる。

請求項（抜粋）：

絶縁性支持体上に、互いに絶縁されて所定の方向に且つ所定の間隔を設けて配置された複数の駆動電極を有する第1の部材と、絶縁性薄葉体に正負の電荷が付与される第2の部材とが接するように配置されており、駆動電極への印加電圧の切り替えにより生じる第1の部材と第2の部材との静電気のクーロン力によって第1の部材と第2の部材の相対位置を変化させるための駆動手段を具備する静電アクチュエータにおいて、第2の部材と接する第1の部材の摺動面及び/又は第1の部材と接する第2の部材の摺動面が酸化アルミニウムを含有する絶縁性薄葉体で形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。