特許

J-GLOBAL ID：200903029733631485

光電検出方法及びそれを用いた光電検出装置

発明者： 田中 浩
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-096095
公開番号（公開出願番号）：特開平8-274016
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 センサ面とシ-ルガラスとの間の光の干渉を防ぎ、歪のない信号波形を得て、正確な光学像計測が可能な光電検出方法及びそれを用いた光電検出装置を得ること。【構成】 光電センサを光電検出系の入射光軸に対して所定量傾け、該光電センサのシ-ルガラスからの反射光がセンサ面に入射しないように配置したこと。

請求項（抜粋）：

光電検出光学系と光電センサによって物体の像を検出する光電検出装置において、該光電センサを前記光電検出光学系の入射光軸に対して傾けて配置したことを特徴とする光電検出装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/30 ,  H01L 31/02

FI (7件)：

H01L 21/30 502 G ,  G01B 11/00 Z ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 ,  H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/30 521 ,  H01L 31/02 B