特許
J-GLOBAL ID:200903029742758480

曲面形状検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 由充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-197571
公開番号(公開出願番号):特開平7-012748
出願日: 1992年06月30日
公開日(公表日): 1995年01月17日
要約:
【要約】【目的】はんだ付部位などの曲面体の曲面形状を短時間で検出し、装置のコストの低減と信頼性の向上とを実現する。【構成】赤色光,緑色光.青色光を照射する円環状光源9,10,11を検査位置から見て異なる仰角の方向に設ける。対象物からの反射光は、色相選択性のフィルタ27a,27b,27cにより各光源別に選別された後、モノクロムカメラ26a,26b,26cにより個別に撮像される。各カメラからの画像信号は制御処理部7へ出力され、ティーチングまたは検査のための画像処理が行われる。
請求項(抜粋):
検査対象である曲面体の表面の状態を検査するための曲面状態検査装置であって、検査位置に対し異なる仰角の位置に配備された複数の円環状光源と、検査位置にある前記曲面体の表面での反射光を各光源別に選別する光学系と、前記光学系で選別された曲面体の表面での反射光を個別に撮像する光源数に一致する数のモノクロム撮像装置と、各モノクロム撮像装置で得られた撮像パターンより曲面体が有する各曲面要素の形状を検出する制御処理装置とから成る曲面形状検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/24

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